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주사전자현미경

SEM(Scanning Electron Microscope(SEM-EDXS))
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모델명JSM-6400제조사JEOL
장비분류관찰,분석구입일1996-12-01
장비상태정상보유수량1
보유기관공용장비활용센터관리자야마구치
연락처041-530-2879E-Mailyamaguchi@sunmoon.ac.kr
사용료50,000기타

■ 장비개요

시료에 전자가 입사될 때 발생하는 여러 신호중 상의 명암을 결정하는 2차 전자량은 주로 시료의 표면에 의존하는 원리로 상을 관찰하고 전자 프로브의 주사 편향각도를 전기적으로 변화시켜 수십만배까지 확대상을 볼 수 있다. 부수적으로 발생하는 특성엑스레이를 분석함으로써 시료의 조성 및 정량정성 분석도 가능

 

■ 응용분야/주요용도

* 금속 파단면 관찰, powder입형 관찰
* 미생물 관찰, 조성분석(EDXS)
* 결정립 관찰

 

■ 주요사양

* Electron Probe Accelerating voltage range : 0.2 to 40kV. 0.2 to 5kV (100V steps).
* Image modes : SEI, BEI, ECP, X-ray, Image
* SEI guaranteed resolution : 3.5 nm at W.D.=8 mm
* Magnification range Zoom mode : 10X (W.D.= 39 mm) to 300,000X
* Energy dispersive X-ray spectrometer