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전계식 주사전자 현미경(FE-SEM)

FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)
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모델명JSM-6700F제조사JEOL
장비분류관찰구입일2003-07-22
장비상태정상보유수량1
보유기관공용장비활용센터관리자야마구치
연락처041-530-2879E-Mailyamaguchi@sunmoon.ac.kr
사용료100,000기타

■ 장비개요

 전계방출 형식을 가진 주사전자현미경으로써 저가속전압하에서 휘도 높은 고배율 이미지를 얻을 수 있고 표면에서 부가적으로 얻어지는 X선으로 정성 정량분석을 할 수 있는 장비

 

■ 응용분야/주요용도

* 금속, 세라믹, 반도체의 표면 관찰과 성분분석
* 미생물의 관찰, 전자 부품 품질관리, 반도체 디바이스 개발
* 코팅 기술 개발, 기타 품질관리

 

■ 주요사양

* Resolution : 1.0nm guaranteed at 15kV or better 2.2nm guaranteed at 1kV or better
* Magnification : 25 to 650,000 X or wider
* Acceleration voltage : 0.5 to 30kV
* Probe current : 1 X 10⁻¹³ to 2 X 10⁻⁹A
* Electron Gun : Type: Field emission gun with cold carhode
* Emitter : Tungsten single crystal<301> cold emitter
* Emission current : Valriable in 4 steps(2,5,10,20μA) Usually 10μA